無油真空泵的工作原理和一般容積泵相同，由定子、轉子、旋片、缸體、電機等主要零件組成。帶有旋片的轉子，偏心地安裝在定缸內，當轉子高速旋轉時，轉子槽內四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進排出口分離開來，周而復始運轉，進行變容，將吸入氣體，從排氣口排出，從而達到抽氣目的。
無油真空泵的使用維護：
1、應具有充分良好的通風條件及低于40℃的環境溫度。
2、無灰塵及臟物的清潔場所。
3、無水、油等液體會降落到泵上。
4、不直接暴露在陽光里。
5、有足夠的周圍空間能便于泵的檢查，維護和裝拆。
6、泵必須安裝在平坦的平面上。
7、最好將泵放在類似混凝土堅硬的地基上安裝，如果沒有條件，也可將泵牢固地安裝在鋼制或木制的機架上。
8、必須確保泵不因基礎不牢固而引起震動。
9、與泵連接管道不宜過長和小于泵進口徑，影響抽速，同是注意檢查真空連接管道有否漏氣。
無油真空泵的結構特點：
無油直聯旋片真空泵，是一種旋片式單級真空泵。用來抽除密封容器中的氣體，以獲取真空的基本設備。
該泵可用于空調，制冷設備的修理，醫療儀器的抽吸裝置，印刷機械，真空包裝，真空吸塑，理化實驗及需要真空環境的小型裝置等各種真空作業用。還可以作為小型的油增壓泵、油擴散泵，分子泵等的前級泵使用。
該泵不適用于抽除對黑色金屬有腐蝕的，對泵油起化學反應的，含有顆粒塵埃的氣體，以及含氧過高，有爆炸性的有毒氣體。更不能作為傳輸泵(即從一個容器抽送到另一個容器)使用。
10、接電線時，應注意電機銘牌上的規定接線要求。三相電泵要注意電機旋轉方向應與泵上的標示箭頭方向一致。
